光刻机需要哪些技术
光刻机制造需要哪些技术 光刻机的制造体系非常复杂，有两点至关重要，即精密零部件和组装技术。精密零部件 一台光刻机的制造需要数万个精密零部件。通常来说，一台光刻机的制造需要大约八万个精密零件，而目前世界上最为先进的极紫外EUV光刻机所需要的制造零件更是高达十万余个。
光刻机的制造体系非常复杂，关键在于精密零部件和组装技术。精密零部件 一台光刻机的制造需要数万个精密零部件。通常来说，一台光刻机的制造需要大约八万个精密零件，而目前最先进的极紫外EUV光刻机所需的制造零件数量更是高达十万余个。一套完整的光刻机包括曝光系统、自动对准系统和整机软件系统。