精密超精密加工机床关键技术分析
1、在近十几年内，随着计算机技术的高速发展，超精密机床的一些关键技术，如控制技术、反馈系统、伺服驱动装置等方面有了很大的进步，提高了超精密机床的加工精度，目前，超精密已能够直接加工出粗糙度达1nm 的表面。
2、超精密加工机床的主轴在加工过程中直接支持工件或刀具的运动，故主轴的回转精度直接影响到工件的加工精度。因此可以说主轴是超精密加工机床中最重要的一个部件，通过机床主轴的精度和特性可以评价机床本身的精度。
3、超精密加工技术是指能够实现极高精度和表面质量的制造技术。这种技术主要应用于需要高精度零件和组件的领域，如航空航天、光学、半导体制造等。超精密加工技术涵盖了多个方面。其中，超精密切削技术通过使用特殊的刀具和精确的机床控制系统，能够达到微米甚至纳米级别的加工精度。
4、超精机3心合一原理是指通过对三种高精度测量技术的融合应用，即视觉传感器、力觉传感器和惯性单元，实现机器的高精度定位与运动控制。
