EUV光源方案井喷!国家EUV光源负责人披露的上海光机
1、一种双脉冲驱动的高功率EUV光刻光源，其特点在于使用掺Tm材料的激光增益介质，产生波长在1800～2500nm范围内的激光，包括脉冲种子源、脉冲选择器、脉冲分束装置、脉冲延时装置、脉冲整形器和激光脉冲放大系统。
2、本发明涉及激光技术领域，公开了一种高功率EUV光刻光源的双脉冲驱动光源，波长范围为1800～2500nm，使用掺Tm材料作为激光增益介质，包括脉冲种子源、脉冲选择器、脉冲分束装置、脉冲延时装置、脉冲整形器和激光脉冲放大系统，其中脉冲种子源包括锁模振荡器和纳秒脉冲种子源。
3、EUV光刻技术是当前主流的先进制程技术，使用15nm分辨率的光可以构建更小的单位特征，但面临着成本高昂和物理极限等挑战。与之相比，NIL光刻技术具有一些独特的优势，可以作为下一代光刻技术的候选者。NIL光刻机相对于EUV光刻机来说，光源的成本更低，不需要使用昂贵的EUV激光源。
4、我国目前连一台euv光刻机都没有，即使是图纸也没有。EUV光刻机是半导体制造中的核心设备，它使用极紫外光技术进行微细加工，能够实现芯片制造的高精度和高速度。然而，全球EUV光刻机市场一直被荷兰ASML公司垄断，而中国EUV光刻机如何则备受关注。
5、中国的部分芯片制造企业正在积极进行EUV光刻机的研发工作，以期实现国产化突破。 EUV光刻机的性能指标包括支持的基片尺寸、分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性以及生产效率等。 片台和掩模夹是根据不同的样片和掩模尺寸特别设计的。
锁模激光器的类型
激光器的自由运行过程中，主被动锁模的特点在于纵模与横模的同步振动，但两者之间没有固定的相位关联，这种无序的相位干涉会对激光腔内的纵模稳定性产生显著影响。在存在非线性元件或者通过外部光调制器的条件下，这些扰动可能会转化成在谐振腔内稳定且功率强大的单脉冲信号。
锁模机制分为主动与被动两种类型，主动锁模利用有源器件实现对谐振腔内纵模的相位锁定，而被动锁模则通过无源器件如可饱和吸收体实现锁模，形成超短光脉冲。被动锁模激光器利用可饱和吸收体的非线性特性，通过增强脉冲的增益截止，抑制强度低的脉冲，形成高能飞秒级超短脉冲，重复频率由腔长决定。
锁模技术的实现手段主要分为两类：主动锁模和被动锁模。在主动锁模方法中，外部会施加一个调制信号，周期性地调节激光器的增益或损耗，以此来控制激光脉冲的产生和发射。这种方式需要外部干预，是通过人为的控制来实现锁模的。相比之下，被动锁模则依赖于激光器材料的非线性特性。
才能产生激光超短脉冲或称锁模脉冲。实现锁模的方法有很多种，但一般可以分成两大类：即主动锁模和被动锁模。主动锁模指的是通过由外部向激光器提供调制信号的途径来周期性地改变激光器的增益或损耗从而达到锁模目的；而被动锁模则是利用材料的非线性吸收或非线性相变的特性来产生激光超短脉冲。
什么是种子激光器?原理是什么?怎么达到稳频的效果的?
PDH稳频原理的核心在于利用F-P腔的相位调制特性，通过测量反射光强度的变化来实现激光频率的精确控制。激光器的频率通过电光调制器影响FP腔内的光场，当其与腔参考频率接近时，反射光的强度会显著变化。
兰姆凹陷稳频原理：多谱勒加宽的单纵模气体激光器中，输出功率总是随纵模频率向中心频率的靠近而增大，但是当纵模频率接近中心频率时，由于增益曲线上两个烧孔重叠而使能够受激辐射的粒子数减小，因而光强反而下降，在中心频率出出现凹陷。结构和原理：①单纵模激光器。
指以光泵方式激励的激光器，包括几乎是全部的固体激光器和液体激光器，以及少数气体激光器和半导体激光器。②电激励式激光器。
2023年度中国十大光学产业技术揭晓
亚赫兹线宽外腔超窄线宽半导体激光：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 该技术在成本、体积、波长范围和功耗上更具优势，广泛应用于学术界和工业界。
国望光学拥有近200项授权发明专利，核心团队来自长春国科精密光学技术有限公司，已完成全资收购。公司研发基地位于北京经济技术开发区，规划建筑面积12万平方米，预计2023年投入运行后，将具备极大规模IC制造投影光刻机曝光光学系统等产品的研发、设计与批量生产供货能力。
国内十大科技成果：嫦娥五号探测器、科学家首次克隆出抗赤霉病主效基因Fhb北斗系统、海斗一号、井钻采深海可燃冰、第一条高精度古生代3亿多年的海洋生物多样性变化、量子计算原型机、人造太阳、发表关于高维凯勒里奇流收敛性的论文、智能超算与物理模型相结合。
清华大学-精密测试技术及仪器全国重点实验室，依托清华大学与天津大学共建，专注于激光及光电测试技术、传感及测量信息技术、微纳制造与测试技术、制造质量控制技术等领域，为我国精密测试技术与仪器的发展奠定了坚实基础。
未来先进光电技术发展态势：光电产业将成为第一主导产业。会向更高速率发展、相干持续下沉、向灵活光交换发展、向更宽的通信窗口发展。中国光学泰斗王大珩院士说：21世纪光电子技术将会年倍增的爆炸速度增长，大家都知道20世纪的微电子技术是遵照摩尔定律，一年半翻一番的速度增长。