EUV光源方案井喷!国家EUV光源负责人披露的上海光机
1、一种双脉冲驱动的高功率EUV光刻光源，其特点在于使用掺Tm材料的激光增益介质，产生波长在1800～2500nm范围内的激光，包括脉冲种子源、脉冲选择器、脉冲分束装置、脉冲延时装置、脉冲整形器和激光脉冲放大系统。
2、本发明涉及激光技术领域，公开了一种高功率EUV光刻光源的双脉冲驱动光源，波长范围为1800～2500nm，使用掺Tm材料作为激光增益介质，包括脉冲种子源、脉冲选择器、脉冲分束装置、脉冲延时装置、脉冲整形器和激光脉冲放大系统，其中脉冲种子源包括锁模振荡器和纳秒脉冲种子源。