超精密加工简介
超精密加工是20世纪60年代随着核能、大规模集成电路、激光和航天等尖端技术发展而兴起的一种高精度加工技术。这种技术相较于传统精密加工，其精度提升了至少一个数量级，能够在20世纪80年代达到惊人的10纳米（即1×10^-8米）的加工尺寸精度，表面粗糙度低至1纳米级别。超精密加工对各个环节都有极高要求。
超精密加工技术是一种能够达到纳米级加工精度的现代加工技术，其表面粗糙度同样可以达到纳米级别。这种技术在精密仪器制造、电子、航空、航天等工业领域中得到了广泛的应用。超精密加工技术主要分为两大类：超精度切削加工和超精密特种加工。超精度切削加工包括超精密车削、镜面磨削和研磨等技术。