激光干涉仪可以测角度么?怎么测?
1、激光干涉仪是可以测角度的,主要应用于运动轴的角摆测量和转轴的旋转角度测量。SJ6000激光干涉仪测量角度工作原理如下:角度反射镜旋转时产生转角,或是移动过程中产生角摆,两束反射光会有相对应的光程差产生,SJ6000采集到该光程差的干涉信号,经过运算处理,即可得出对应的角度值。
2、角度测量范围通常为±5°至±180°,可测量垂直度、平行度、倾斜度等。精度分析 激光平面干涉仪精度受环境、仪器及操作三方面影响。环境因素如温度、湿度等,影响激光波长稳定性,进而影响测量精度,其中温度显著。