超精密加工超精密加工的发展
超精密加工的发展历程可以分为三个阶段。在20世纪50年代至80年代，超精密加工技术开始兴起。美国率先将这项技术应用于航天、国防等领域，如单点金刚石切削技术，用于制造大型零件如激光核聚变反射镜等。
超精密加工的发展经历了如下三个阶段。（1）20世纪50年代至80年代为技术开创期。
超精密加工是20世纪60年代随着核能、大规模集成电路、激光和航天等尖端技术发展而兴起的一种高精度加工技术。这种技术相较于传统精密加工，其精度提升了至少一个数量级，能够在20世纪80年代达到惊人的10纳米（即1×10^-8米）的加工尺寸精度，表面粗糙度低至1纳米级别。超精密加工对各个环节都有极高要求。