微细加工技术所加工的尺寸
1、微细电火花加工也是利用脉冲电源，将高频放电能量输向放电间隙，靠产生的高温热效应等综合效应实现对材料的去除，从而达到对工件加工的目的。但由于被加工的孔径细微，一般在5～100μm之间，因此要达到加工的尺寸精度和表面质量要求，还有一些特殊的要求。
2、微细加工的尺寸范围被定为在1～999μm之间，那么为能达成加工之目的，微细电火花加工的电极也必须相应的限定在数微米至百微米之间，放电面积很小。为高效稳定进行放电加工，电极相对表面内会分布有许多突出点，这些突出点的电场强度几乎相等且一般为最大，是建立放电通道的放电加工点。