芯片漏电点定位及分析(EMMI/OBIRCH,显微光热分布,FIB-SEM)
1、芯片漏电点定位及分析技术，包括EMMI、OBIRCH、显微光热分布测试系统和FIB-SEM，是半导体行业确保产品质量的关键工具。EMMI利用高增益相机检测失效器件发出的光子，通过对比电压下和无电压下的信号图，定位发光点，揭示故障点。OBIRCH借助激光扫描，通过金属线电阻和电流变化的响应，快速定位LED芯片内部的缺陷。
1、芯片漏电点定位及分析技术，包括EMMI、OBIRCH、显微光热分布测试系统和FIB-SEM，是半导体行业确保产品质量的关键工具。EMMI利用高增益相机检测失效器件发出的光子，通过对比电压下和无电压下的信号图，定位发光点，揭示故障点。OBIRCH借助激光扫描，通过金属线电阻和电流变化的响应，快速定位LED芯片内部的缺陷。
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